OBRABOTKAMETALLOV Vol. 25 No. 2 2023 73 MATERIAL SCIENCE а б Рис. 3. Ряд рентгенограмм экспериментального образца со сформированными на поверхности многослойными покрытиями ZrN/CrN, произведенных при нагреве образца с многослойными покрытиями от 30 до 750 °С методом асимметричной съемки с использованием синхротронного излучения: а – ZrN/CrN 0,5 об/мин; б – ZrN/CrN 8 об/мин Fig. 3. A series of X-ray diff raction patterns of an experimental sample with a multilayer ZrN/CrN coating, obtained by asymmetric imaging using synchrotron radiation when heating from 30°C to 750°C: a – ZrN/CrN 0.5 rpm; б – ZrN/CrN 8 rpm Т а б л и ц а 1 Ta b l e 1 Характеристики рефлексов фаз в образце с многослойным покрытием CrN/ZrN, полученным при скорости вращения подложкодержателя 0,5 об/мин в зависимости от температуры воздействия Characteristics of phase refl ections in the sample with multilayer coating of CrN/ZrN obtained at a substrate holder rotation speed of 0.5 rpm depending on the heating temperature Температура воздействия, °С Рефлекс, фазы d, Å FWHM, град a, нм 50 (111) ZrN 2,654 1,0131 4,5965 (111) CrN 2,45 1,5584 4,2426 100 (111) ZrN 2,653 1,0433 4,5956 (111) CrN 2,44 1,3269 4,2265 200 (111) ZrN 2,658 0,9849 4,6030 (111) CrN 2,45 1,4758 4,2428 400 (111) ZrN 2,662 0,9586 4,6105 (111) CrN 2,456 1,5005 4,2540 500 (111) ZrN 2,664 0,915 4,6145 (111) CrN 2,454 1,4635 4,2511 550 (111) ZrN 2,662 0,8375 4,6103 (111) CrN 2,455 1,5585 4,2516 линейных участках 50–550 °C); 0 a – параметр кристаллической решетки при температуре начала линейных участков (на рис. 4 наименьшие значения на линейных участках 50–550 °C). Следовательно, для участка нагрева от 50 до 550 °C ЛКТР β ( ) фазы ZrN многослойного покрытия будет рассчитан как − β = = ⋅ − − 4, 6145 4,5965 7,83 4,5965(55 0 0 50 6 ) 1 ZrN К –1. Для линейного участка нагрева от 50 до 550 °C ЛКТР β ( ) фазы СrN многослойного покрытия будет равен 6 4, 2516 4, 2426 4, 2426(550 5 4 0) , 24 10 CrN − − β ⋅ = = − К –1.
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1