OBRABOTKAMETALLOV Vol. 25 No. 2 2023 75 MATERIAL SCIENCE Т а б л и ц а 2 Ta b l e 2 Характеристики рефлексов всех присутствующих фаз в образце с многослойным покрытием CrN/ZrN, полученном при скорости вращения подложкодержателя 8 об/мин в зависимости от температуры воздействия Characteristics of refl ections of all phases, presented in a sample with a multilayer CrN/ZrN coating, obtained at a substrate holder rotation speed of 8 rpm as a function of temperature Температура воздействия, °С Рефлекс фазы d, Å FWHM, град a, нм 50 (111) ZrN 2,6596 1,1329 4,6065 (111) CrN 2,4595 1,5925 4,2599 100 (111) ZrN 2,6644 1,0414 4,6148 (111) CrN 2,4679 1,5137 4,2745 200 (111) ZrN 2,6671 1,0504 4,6195 (111) CrN 2,4633 1,6553 4,2665 400 (111) ZrN 2,6721 1,0941 4,6282 (111) CrN 2,4519 1,6526 4,2468 500 (111) ZrN 2,6732 1,0407 4,6301 (111) CrN 2,4595 1,6878 4,2599 550 (111) ZrN 2,6729 0,9904 4,6295 (111) CrN 2,4572 1,6518 4,25599524 600 (111) ZrN 2,6698 0,8949 4,62422925 (111) CrN 2,4739 1,652 4,28492049 фазы CrN и (111) фазы ZrN многослойного покрытия в выбранном температурном диапазоне. Зависимость параметра кристаллической решетки от температуры воздействия показана на рис. 6, а. Из графика следует, что параметр кристаллической решетки материалов покрытия (CrN и ZrN) увеличивается, т. е. материал увеличивает свой объем, причем это происходит по линейному закону с некоторой погрешностью. Зависимость изменения параметра кристаллической решетки от температуры воздействия материалов покрытия (CrN и ZrN) показана на рис. 6, б. Формула (2) применяется следующим образом. Очевидно, что рис. 6, б – это перестроенный график, показанный на рис. 6, а, таким образом, что 0 T a a a Δ = − , где T a – параметр кристаллической решетки при более высокой температуре а б Рис. 6. Зависимость изменения параметра кристаллической решетки фаз многослойного покрытия ZrN/CrN от температуры воздействия (а); зависимость изменения параметра кристаллической решетки (а) фаз многослойного покрытия ZrN/CrN от температуры воздействия (б) Fig. 6. Dependence of the changes in the crystal lattice parameter of the phases of the ZrN/CrN multilayer coating on temperature (a); dependence of the changes in the crystal lattice parameter (а) of the phases of the ZrN/CrN multilayer coating on temperature (б)
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1