Аннотация
Рассмотрены вопросы создания тест-объектов для стендов контроля и измерения параметров инфракрасных фотоприемных устройств и тепловизионных систем. Разработаны технологии изготовления и проведены оценки и измерения их параметров. Тест-объекты (Т-О) представляют собой решетку из нескольких щелей, выполненных в непрозрачном материале. Ширина щелей от 60 до 600 мкм, и расположены они с шагом (периодом) от 120 до 1200 мкм соответственно. Точность геометрических размеров и неровность краев элементов топологии тест-объектов не должны быть хуже 5 < 10 мкм. Толщина, материал и технология должны обеспечивать достаточную равномерность распределения температуры в плоскости тест-объекта при нагреве его при помощи нагревателя, расположенного на его периферии. Одна из поверхностей (обращенная к излучателю) должна иметь максимально высокую отражательную способность для исключения нагрева этим излучателем, другая (обращенная к фотоприемнику) – максимально высокую излучательную способность в спектральной области чувствительности фотоприемника, чтобы обеспечить максимально возможное приближение к спектру излучения «абсолютно черного тела» в этой области. Результаты экспериментов показали, что коэффициент отражения медной фольги существенно зависит (естественно) от степени шероховатости ее поверхности, которая увеличивается с увеличением толщины. Это определяется как тем, что расширяется диаграмма направленности отраженного излучения, так и тем, что при многократном отражении увеличивается доля поглощенного излучения. Измерения проводились на инфракрасном спектрофотометре ИКС-29 с приставкой зеркального отражения ИПО-22.
Ключевые слова: тест-объекы, фотоприемные устройства (ФПУ), тепловизоры, инфракрасные системы, контроль параметров, измерительные системы, моделирующие системы, инфракрасный диапазон, контроль и измерения, технологии изготовления
Список литературы
[1] Экспериментальные исследования матричных фотоприемных устройств инфракрасного диапазона для систем обнаружения малоразмерных объектов / А.Н. Галянтич, И.С. Гибин, В.В. Золотцев, М.В. Киселев, Г.В. Колесников // Автометрия. – 2012. – Т. 48, № 1. – C. 95–101.
[2] Курт В.И. Аппаратно-методический комплекс метрологического обеспечения средств измерений и контроля характеристик тепловизионных приборов: дис. ... д-ра техн. наук: 05.11.13. – Казань, 2007. – 260 с.
[3] Гладышев А.М. Стенд и методика оперативной проверки тепловизионных приборов // Докл. Белорус. гос. ун-та информатики и радиоэлектроники (БГУИР). – 2006. – №1 (33). – С. 35–45.
[4] Бугаенко А.Г. Курт В.И., Ленина В.А. Инфракрасный измерительный комплекс для определения параметров тепловизионных приборов различного назначения // Прикладная оптика–98: тез. докл. междунар. конф. – СПб., 1998. – С. 81.
[5] Физические основы и техника измерений в тепловидении / А.Г. Бугаенко, В.П. Иванов, А.Н. Омелаев, В.И. Тевяшов, В.Л. Филиппов. – Казань: Отечество, 2003. – 200 с.
[6] Бугаенко А.Г. Методы и средства контроля характеристик тепловизионных приборов и систем: дис. ... д-ра техн. наук: 05.11.07. – Казань, 2005. – 300 с.
[7] Алешко Е.И., Курт В.И., Рахимова Л.Р. Калибровка дифференциальных коллиматорных стендов по разности радиационных температур // Оптич. журн. – 2007. – Т. 74, № 3. – С. 13–15.
[8] Введение в фотолитографию / под ред. В.П. Лаврищева. – М.: Энергия, 1977. – 400 с.
[9] Инженерная гальванотехника в приборостроении / под ред. A.M. Гинберга. – М.: Машиностроение, 1977. – 512 с.
[10] Технология тонких пленок: (справочник) / под ред. Л. Майссела, Р. Гленга. – М.: Сов. радио, 1977. – Т. 1. – С. 664.
