Shanin S.A. et al. 2018 Vol. 20 No. 1

OBRABOTKAMETALLOV Vol. 20 No. 1 2018 77 MATERIAL SCIENCE 17. Experimental and modeling study on the role of Ar addition to the working gas on the development of intrinsic stress in TiN coatings produced by filtered vacuum-arc plasma / V.V. Vasyliev, A.I. Kalinichenko, E.N. Reshetnyak, G. Taghavi Pourian Azar, M. Ür- gen, V.E. Strel’nitskij // Thin Solid Films. – 2017. – Vol. 642. – P. 207–213. – doi: 10.1016/j.tsf.2017.08.033. 18. Knyazeva A.G., Shanin S.A . Modeling of evolu- tion of growing coating composition // Acta Mechani- ca. – 2016. – Vol. 227, iss. 1. – P. 75–104. – doi: 10.1007/ s0070. Конфликт интересов Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов. © 2018 Авторы. Издательство Новосибирского государственного технического университета. Эта статья доступна по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная (https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ ) 19. Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. – М.: Энергоатом- издат, 1991. – 1232 с. 20. Термодинамические свойства неорганиче- ских веществ: справочник / У.Д. Верятин, В.П. Ма- ширев, Н.Г. Рябцев, В.И. Тарасов, Б.Д. Рогозкин, И.В. Коробов; под общ. ред. А.П. Зефирова. – М.: Атомиздат, 1965. – 460 с. 21. Карапетьянц М.Х. Химическая термодинами- ка. – М.: Химия, 1975. – 584 с.