Investigation of the structural-phase state and mechanical properties of ZrCrN coatings obtained by plasma-assisted vacuum arc evaporation

ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 24 № 1 2022 90 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Рис. 1. Изображения поверхности образцов с покрытиями: а – CrN; б – ZrN; в – ZrCrN-1; г – ZrCrN-2; д – ZrCrN-3; е – ZrCrN-4 Fig. 1. Surface images of samples coated with: а – CrN; б – ZrN; в – ZrCrN-1; г – ZrCrN-2; д – ZrCrN-3; е – ZrCrN-4 а б в г д е Рис. 2. Шероховатость поверхности покрытий Fig. 2. Surface roughness of coatings многослойных покрытий ZrCrN по параметру Sa в 1,8–2,9 раза выше по сравнению с покрытием CrN, и в 1,1–1,8 раза выше по сравнению с покрытием ZrN. Менее значительно увеличивается шероховатость многослойных покрытий ZrCrN по параметру Sz, она в 1,5–1,8 раза выше по сравнению с CrN и лишь на 3…15 % выше по сравнению с ZrN. Из полученных данных следует, что шероховатость поверхности по параметру Sa монотонно увеличивается от образца с покрытием CrN к образцу с многослойным покрытием ZrCrN-4. Увеличение частоты вращения стола с подложками с 0,5 до 8 об/мин приводит к росту шероховатости поверхности по параметру Sa на ~38 %. При этом изменение шероховатости поверхности из-за изменения режима нанесения для образцов с многослойными покрытиями ZrCrN-1–ZrCrN-4 по параметру Sz является менее существенным и не превышает 12 %. Измерение рельефа покрытий с помощью конфокального лазерного сканирующего микроскопа позволяет выполнить оценку его пара-

RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1