OBRABOTKAMETALLOV Vol. 24 No. 3 2022 79 MATERIAL SCIENCE вращения стола и подложкодержателя. Как видно, многослойные покрытия ZrN/CrN состоят из чередующихся слоев нитридов. Однако в случае наименьшей скорости вращения стола и подложкодержателя, образец ZrN/CrN-0,5 (рис. 2, а), наблюдаются два типа чередования нитридов. Первый тип заключается в образовании наномасштабных слоев, как и в случае образцов ZrN/ CrN-3,5; ZrN/CrN-8, образованных в процессе вращения подложкодержателя с одновременным вращением стола. Толщина наномасштабных слоев показана на рисунках с обозначением «h». С повышением скорости вращения стола и подложкодержателя толщина слоев нитридов уменьшается. При этом если построить график зависимости скорости вращения подложкодержателя (V) от полученной толщины наномасштабных слоев (h), то можно предположить, что зависимость эта линейная, как показано на рис. 2, г. В данной работе мы пренебрегли скоростью вращения стола, так как скорость вращения подложкодержателя прямо пропорциональна скорости вращения стола. Уравнение прямой аппроксимации, показанной на рис. 2, г, предполагает, очевидно, пересечение с осью ординат в точке 592±58 об/мин, что должно а б в г Рис. 2. Светлопольное изображение многослойного покрытия, произведенного по режимам ZrN/CrN-0,5 (а), ZrN/CrN-3,5 (б), ZrN/CrN-8 (в) и линейная аппроксимация зависимости скоростей вращения стола и подложкодержателя от толщины нанометровых слоев покрытия (г) Fig. 2. Bright fi eld image of multilayer coating formed at ZrN/CrN-0.5 (a), ZrN/CrN-3.5 (б), ZrN/CrN-8 (в) and linear approximation of the table and substrate holder rotation speeds as a function of the thickness of nanometer coating layers (г)
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1