OBRABOTKAMETALLOV Vol. 25 No. 4 2023 209 MATERIAL SCIENCE Рис. 4. Деформации кристаллической решетки в зависимости от температуры процесса термоциклирования компонент однокомпонентных покрытий (а, в), многослойных покрытий (б, г) и подложки (д, е) Fig. 4. Crystal lattice deformations as a function of temperature of the thermal cycling process of components of single-component coatings (а, в), multilayer coatings (б, г) and substrate (д, е) а б в г д е Как показано на рис. 3 и 5, FWHM увеличивалась одновременно с уменьшением коэф фициента теплового расширения. Это указывает на то, что накопление внутренних напряжений приводит к объемному расширению и должно компенсировать некоторую часть усадки решетки исходной фазы во время охлаждения. Следует отметить, что значения FWHM для однокомпонентных покрытий и их подложки уменьшались с повышением температуры (рис. 5, а, в, д). Уменьшение полувысоты рефлексов свидетельствуют о релаксации остаточных напряжений [13]. С другой стороны, FWHM увеличивается с повышением температуры для фазы ZrN в многослойном покрытии (рис. 5, б). Т (°С) Т (°С) Т (°С) Т (°С) Т (°С) Т (°С)
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1