OBRABOTKAMETALLOV Vol. 27 No. 3 2025 191 MATERIAL SCIENCE шению эффективной площади поверхности, доступной для адсорбции молекул воды, и, как следствие, к снижению ионной подвижности. Несмотря на указанные ограничения, датчик на основе ZnO с содержанием 10 % NGM характеризуется наилучшей чувствительностью, что является приоритетным параметром для многих применений, даже если это достигается за счет некоторого снижения скорости отклика. Зависимость ёмкости датчика от относительной влажности, представленная на рис. 7, д, подтвержд Рис. 7. Зависимость ёмкости от относительной влажности для датчиков ZnO-NGM с концентрацией легирующей примеси 2 % (а), 4 % (б), 1 % (в), 5 % (г) и 10 % (д) Fig. 7. Capacitance as a function of RH for ZnO–NGM sensors with (а) 2 wt. %, (б) 4 wt. %, (в) 1 wt. %, (г) 5 wt. %, and (д) 10 wt. % NGM doping а б в г дает удовлетворительную чувствительность и хорошее отслеживание изменения влажности в диапазоне низких частот [31]. Динамические характеристики датчиков оценивались на основе времени отклика и времени восстановления. Время отклика определялось как время, необходимое для достижения 90 % от полного изменения ёмкости при резком изменении относительной влажности, а время восстановления – как время, необходимое для возврата ёмкости к 10 % от исходного значения после уда-
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1