Actual Problems in Machine Building 2016 No. 3

Actual Problems in Machine Building. 2016. N 3 Innovative Technologies in Mechanical Engineering ____________________________________________________________________ 130 Для устранения причин торможения процесса ЭХО применяют различные методы его интенсификации, такие как метод вращающегося дискового электрода, гидродинамический, лазерный метод и т.д. [10 – 16]. Каждый из этих методов позволяет воздействовать их на ту или иную стадию процесса растворения. Таким образом, целью настоящей работы является исследование анодного поведения кремния в водных щелочных электролитах при стационарных (потенциодинамических) условиях и при механической интенсификации поверхности исследуемого материала. Методика экспериментального исследования В данной работе для поляризационных исследований использовались: потенциостат модели П – 5827 М, задающий по определенному алгоритму развертку потенциала или тока; прибор, регистрирующий значение тока; трехэлектродная электрохимическая ячейка. В качестве электролитов для поляризационных исследований применялись 5% водные щелочные растворы гидрооксида калия и натрия. Для исследования анодного поведения кремния в условиях ЭХО использовались образцы площадью S = 0,22 см 2 и толщиной h = 0,3 мм. Образцы приклеивались на металлическую подложку специальным, токопроводящим клеем «Контакт». К каждому образцу припаивался провод. Образцы помещались в эбонитовую оправку, заливались эпоксидным клеем марки ЭПО – 8, химически стойким к применяемым в ЭХО растворам электролитов. Перед каждым экспериментом исследуемую поверхность образца подготавливали согласно методике, изложенной в работах [17, 18]. Потенциодинамический метод заключается в непрерывном снятии поляризационных зависимостей с заданной скоростью развертки потенциалов при одновременной регистрации плотности тока, кривые 1 (рис. 1, 2). Потенциостатическим методом, при механическом обновлении поверхности кремния, снимались токи включения i = f(t) при значении анодного потенциала от 0 до 8 В с шагом 0,5 В. Обработка результатов потенциостатических исследований позволила определить плотность тока в начальный момент времени при соответствующих потенциалах, на основании которых были построены поляризационные кривые 2 (рис. 1, 2). Рис. 1 Поляризационные зависимости при обработке кремния в 5% электролите KOH: 1 – потенциодинамический метод; 2 – потенциостатический метод при интенсификации поверхности Рис. 2 Поляризационные зависимости при обработке кремния в 5% электролите NaOH: 1 – потенциодинамический метод; 2 – потенциостатический метод при интенсификации поверхности