Obrabotka Metallov 2013 No. 4

ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ № 4 (61) 2013 73 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ На изображении, полученном с помощью РЭМ на поверхности образцов (рис. 1, б ), присут- ствуют две фазы: островки треугольной формы (помечены стрелками) и полосчатая текстура из отдельных островков, (помечена пересекающи- мися линиями). Из анализа АСМ-изображений видно, что рельеф является сильно развитым и разброс по высоте составляет ~100...200 нм. Ста- тистический анализ показывает, что наиболее вероятная высота микронеровностей ~30...60 нм на площади 16 мкм 2 . Приведенные эксперимен- тальные данные образцов позволяют считать, что выделенные особенности не носят случай- ный характер. На рис. 2 показаны экспериментальные дан- ные для образцов второй группы. Из анализа представленных ДБЭ картин (рис. 2) видно, что на поверхности образцов второй группы пленка CaF 2 монокристаллическая, с гладкой поверхно- стью, о чем свидетельствуют характерные стерж- невые рефлексы (помечены стрелками вниз). Это подтверждается анализом РЭМ-изображений, на которых, по всей видимости, видны сросшиеся островки фторида кальция. Из анализа АСМ- изображения видно, что наиболее вероятная вы- сота микронеровностей составляет ~ 30...40 нм на площади 9 мкм 2 . Приведенные эксперимен- тальные данные образцов второй группы позво- ляют считать, что выделенные особенности не носят случайный характер. На рис. 3 показаны экспериментальные данные для образцов третьей группы. Данные образцы характеризуются меньшей толщиной слоя фторида кальция, что объясняется реиспа- а б в г Рис. 1. Экспериментальные данные образца из первой группы после окончания роста: а – картина ДБЭ; б – РЭМ-поверхности CaF 2 – увеличение в 49 тыс. раз; в – АСМ-поверхности CaF 2 ; г – распределение высоты микронеровностей в зависимости от их количества