Obrabotka Metallov 2013 No. 4

ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ № 4 (61) 2013 74 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ рением фторида с поверхности в процессе ро- ста, так как рост проводился при высокой тем- пературе (~700 °C). Из ДБЭ картины (рис. 3) видно, что при- сутствует два типа рефлексов – слабые реф- лексы монокристаллического двумерного ро- ста (отмечены стрелкой, направленной влево) и точечные рефлексы трехмерного монокри- сталлического роста (отмечены стрелками, направленными вниз). На РЭМ-изображении можно видеть полосы с направлениями {110}, вероятно, монокристаллической пленки, также видны островки. Темные зоны между островка- ми и полосами монокристаллического фторида, по всей видимости, подложечный кремний. На- личие незакрытых участков Si подтверждается рис. 4, на котором видно, что впадина имеет а б в г Рис. 2. Экспериментальные данные образца из первой группы после окончания роста: а – картина ДБЭ; б – РЭМ-поверхности CaF 2 – увеличение в 81 тыс. раз; в – АСМ-поверхности CaF 2 ; г – распределение высоты микронеровностей в зависимости от их количества глубину порядка 50 нм, что составляет толщи- ну пленки данного образца. Из статистического анализа поверхности видно, что наиболее ве- роятная высота микронеровностей составляет ~70 нм. На рис. 5 показаны экспериментальные данные для образцов третьей группы, которые выращивались с ТФЭ. Из ДБЭ-изображения данного образца (рис. 5, а ) отчетливо видны реф- лексы двумерного монокристаллического роста, что отчасти подтверждается анализом РЭМ- изображения – на поверхности образца отчетли- во видны срастающиеся островки, однако при- сутствует большое количество темных участков, по всей видимости, подложечного кремния. Из АСМ-изображения (рис. 5, в ) видно, что присут- ствуют темные участки между островками.