Obrabotka Metallov 2013 No. 4

ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ № 4 (61) 2013 76 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ а б в г Рис. 5. Экспериментальные данные образца из первой группы после окончания роста: а – картина ДБЭ; б – РЭМ-поверхности CaF 2 – увеличение в 26 тыс. раз; в – АСМ-поверхности CaF 2 ; г – распределение высоты микронеровностей в зависимости от их количества Рис. 6. Амплитудный анализ участка поверхности образца