Obrabotka Metallov 2012 No. 4

ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ № 4 (57) 2012 96 МАТЕРИАЛЫ КОНФЕРЕНЦИИ Измерение напряженности и потенциала электрического поля Значения напряженности поля измеряли в промежутке между анодом и катодом, так как именно в этом промежутке происходит эмит- тирование электронов с катода и ионизация ра- бочего газа. Так как плазмообразование проис- ходит только в зоне пересечения вертикальных «линий» электрического и «горизонтальных» линий магнитного поля, то при моделировании учитывали только вертикальную составляющую электрического поля. Измерение проводили по контуру, направленному от центральной части верхней границы катода ионного источника к периферии. Результаты измерения приведены на рис. 3 и 4. Из приведенных на рис. 3 и 4 графиков вид- но, что по мере увеличения расстояния между катодом и анодом при 6 мм и более наблюдает- ся резкое искажение электрического поля, что, в свою очередь, отрицательно повлияет на режим плазмообразования. Из проведенных исследова- ний можно сделать вывод, что для образования плазмы при данных электрических характери- стиках ионного источника необходимо обеспе- чить расстояние между анодом и катодом поряд- ка 5 мм. Рис. 2. Нанесение сетки и картина напряженности электрического поля (вертикальная составляющая) ионного источника Рис. 3. Результат измерения потенциала в зави- симости от изменения расстояния между анодом и катодом Рис. 4. Результат измерения электрического поля в зависимости от изменения расстояния между анодом и катодом