Obrabotka Metallov 2012 No. 4

ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ № 4 (57) 2012 97 МАТЕРИАЛЫ КОНФЕРЕНЦИИ Outlook geometry change of the ion source anode layer E.A. Ibragimov, N.F. Saushkina In the given work trying allowed to present character of stress level of electric field depending on distance change between the anode and the cathode of an ionic source. Key words: intensity, magnetic induction, the plasma. Список литературы 1. Описание программного комплекса EL- CUT: [Электрон. ресурс]. – http://tor.ru/elcut/ feat_r.html. 2. Дубицкий С.Д . ELCUT – конечно-элементный анализ низкочастотного электромагнитного поля // EDA Express. – 2005. – № 12. – С. 24–29. 3. Пользователи программного комплекса ELCUT: [Электрон. ресурс]. – http://tor.ru/elcut/ cust_r.html. 4. Жуков В.В., Кривобоков В.П., Пацевич В.В., Янин С.Н. Свойства магнетронного разряда на по- стоянном токе. Ч. 1. Механизм распыления мише- ни // Известия Томского политехнического универ- ситета. – 2005. – Т. 308. – № 6. – С. 69–74.