OBRABOTKAMETALLOV Vol. 24 No. 1 2022 93 MATERIAL SCIENCE различными. На основе обработки данных по методу Оливера–Фарра с помощью специализированного программного обеспечения были установлены значения нанотвердости и приведенного модуля упругости (табл. 1). Соотношение H/E часто используется как мера оценки сопротивления покрытия упругой деформации, при этом считается что H/E, большее или равное 0,1, указывает на его высокое качество [31]. Из полученных данных следует, что только три многослойных покрытия соответствуют этому показателю, а наихудшие свойства имеет покрытие из нитрида хрома. Покрытие из нитрида циркония по параметру H/E также можно считать недостаточно качественным. В работе [26] было показано, что уменьшение толщины отдельных слоев многослойного покрытия ZrN/CrN с 300 до 20 нм позволяет повысить твердость покрытия, осажденного на подложке из стали 12Х18Н10Т, с 33 до 42 ГПа. Кроме того, авторы [26] связывают снижение твердости с образованием твердых растворов на основе (Zr,Cr)N и (Cr,Zr)N вблизи рефлекса (200). В настоящей работе подобных изменений фазового состава не выявлено, однако, так же как и в работе [26], наблюдается смещение пиков рефлексов фаз ZrN и CrN. Это указывает на микроискажение кристаллической решетки, что может являться причиной изменения механических свойств в материале. В рассматриваемом в Рис. 5. РЭМ изображения поперечных сколов многослойных покрытий: а – ZrCrN-1; б – ZrCrN-2; в – ZrCrN-3; г – ZrCrN-4 Fig. 5. Cross-sectional SEM images of the fracture surface of multilayer coatings: а – ZrCrN-1; б – ZrCrN-2; в – ZrCrN-3; г – ZrCrN-4 а б в г
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1