ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 24 № 3 2022 80 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ означать уменьшение толщины нитридных слоев до нуля, что в нашем случае показывает равные концентрации циркония и хрома по всей толщине покрытия без образования границ между нитридами. Причем это обстоятельство при соответствующих условиях может способствовать либо созданию тройного соединения системы ZrCrN, либо созданию аморфного слоя. Обсуждение этого будет изложено ниже в процессе дальнейших исследований ПЭМ. Второй из упомянутых типов слоев – это субмикрометровые слои, которые наблюдаются только при наименьших скоростях вращения стола и подложкодержателя. Как можно увидеть из рис. 2, а, субмикрометровые слои состоят из описанных ранее наномасштабных чередующихся нитридных слоев. Во взаимосвязи со светлопольными изображениями ПЭМ проведен EDS-анализ многослойного покрытия ZrN/CrN-0,5, показанный на рис. 3, а. Анализ химического состава по траектории, указанной стрелкой на рис. 3, а, доказывает, что при скорости вращения стола 0,5 об/мин и скорости вращения подложкодержателя 20 об/мин создаются субмикрометровые слои толщиной 120 ± 8 нм. Рис. 3. Распределение химических элементов в многослойном покрытии ZrN/CrN-0,5 (а), микродифрационные картины многослойных покрытий, полученных по режимам ZrN/CrN-0,5 (б), ZrN/CrN-3,5 (в) и ZrN/CrN-8 (г) Fig. 3. Chemical element distribution in ZrN/CrN-0.5 multilayer coating (a), micro diffraction patterns of multilayer coatings formed at ZrN/CrN-0.5 (б), ZrN/CrN-3.5 (в) and ZrN/CrN-8 (г) modes а б в г
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1