ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 24 № 3 2022 82 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Рис. 4. Рентгенограммы полученных образцов с многослойными покрытиями ZrN/CrN, произведенные методом симметричной съемки (фокусировка по Брэггу-Брентано) с обозначением рефлексов, подлежащих дальнейшей серии асимметричных съемок для определения напряжений методом sin2Ψ Fig. 4. X-ray diagrams of the formed ZrN/CrN multilayer coated samples obtained by symmetrical imaging (Bragg-Brentano focusing) with marking of peaks subjected to further series of asymmetrical imaging to determine stresses by sin2Ψ method Рис. 5. Серия несимметричных съемок с использованием синхротронного излучения в диапазоне угла 2Θ 65° – 77° для рефлекса (222) фазы ZrN образца ZrN/CrN-0,5 с вариацией угла Ψ от 0° до 30° с шагом 5°. Красным цветом выделен угловой диапазон анализируемого рефлекса Fig. 5. Series of asymmetric synchrotron radiation surveys in the range of 2Θ 65° – 77° for the ZrN phase peak (222) of sample ZrN/CrN-0.5 with a variation of angle Ψ from 0° to 30° with a step of 5°. The angular range of the analyzed peak is highlighted in red возрастает. В связи с этими обстоятельствами кристаллиты, в данном случае фазы ZrN, имеют поликристаллическую структуру или большие разориентировки слоев относительно направления роста покрытия только при больших скоростях вращения стола и подложкодержателя. После идентификации анализируемых рефлексов фаз ZrN и CrN производилась серия асимметричных съемок, угол Ψ при этом был равен 0°, 5°, 10°, 15°, 20°, 25°, 30°. На рис. 5 проиллюстрирована серия асимметричных съемок для рефлекса (222) фазы ZrN образца ZrN/CrN-0,5. Красным цветом выделена область углового положения анализируемого рефлекса. После установления положения рефлексов полученные точки представили в виде зависимости в координатах 2ΘΨx – sin 2Ψ и аппроксимировали линейной функцией. Вид зависимости показан на рис. 6. При этом расчет напряжений σx можно представить в виде формулы [ ] x MK ÌÏà , (2)
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1