ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 24 № 3 2022 84 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Рис. 7. Серия несимметричных съемок с использованием синхротронного излучения в диапазоне угла 2Θ 38° – 50° для рефлекса (200) фазы CrN с вариацией угла Ψ от 0° до 30° с шагом 5° Fig. 7. Series of asymmetric surveys using synchrotron radiation in the range of angle 2Θ 38° – 50° for the peak (200) of the CrN phase with a variation of angle Ψ from 0° to 30° with a step of 5° Рис. 8. Линейная зависимость положения дифракционного максимума (200) фазы CrN от sin2Ψ для образцов многослойных покрытий, нанесенных с разной скоростью вращения стола и подложкодержателя Fig. 8. Linear dependence of diffraction maximum position (200) of CrN phase on sin2Ψ for multilayer coating samples deposited at different table and substrate rotation speeds В итоге полученные величины, используемые для расчета внутренних напряжений, а также сама величина внутренних напряжений представлены в табл. 2. Серии асимметричных съемок, представленные на рис. 4 и 6, показаны как пример серии съемок. Особенностью является тот факт, что в целом многослойные покрытия, полученные плазменноассистированным вакуумно-дуговым методом, имеют низкие напряжения. Напряжения первого рода имеют положительный знак или несущественны кроме образца ZrN/CrN-8, а именно фазы CrN. В этом случае величина остаточных напряжений составила более –8 ГПа, отрицательное значение указывает на присутствие сжимающих остаточных напряжений. Принимая во внимание результаты исследований ПЭМ, можно сделать вывод, что увеличение скорости вращения стола и подложкодержателя во время получения многослойных
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1