ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 25 № 2 2023 74 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ а б Рис. 4. Зависимость величины параметра кристаллической решетки фаз многослойного покрытия ZrN/CrN от температуры воздействия (а); зависимость изменения параметра кристаллической решетки (a) фаз многослойного покрытия ZrN/CrN от температуры воздействия (б) Fig. 4. Dependence of the crystal lattice parameter of the ZrN/CrN multilayer coating phases on temperature (a); dependence of the changes in the crystal lattice parameter (a) of the phases of the ZrN/CrN multilayer coating on temperature (б) Формулу (2) можно представить графически – в виде зависимости изменения параметра кристаллической решетки a Δ от температуры воздействия, как показано на рис. 4, б. Тангенс угла наклона в этом случае – это скорость изменения величины параметра решетки (нм) при нагреве на 1 °С. ЛКТР на всем диапазоне температурного воздействия от 50 до 650 °C был положительным для обеих фаз многослойного покрытия: для фазы CrN он составил 2,28249·10–14 К–1, для фазы ZrN – 3,54878·10–14 К–1. На рис. 5 показан график зависимости FWHM рефлексов (111) фазы CrN и (111) фазы ZrN от температуры воздействия. Ориентируясь на возможность возникновения микронапряжений при повышении величины FWHM, можно сделать вывод, что повышение микронапряжений возможно в интервале температур от 50 до 400 °C для фазы CrN. После достижения температуры 400 °C величина FWHM возрастает, и соответственно микронапряжения также будут иметь повышающую зависимость для фазы CrN. Для фазы ZrN ситуация обратная: практически на всем протяжении процесса нагрева величина FWHM убывает, соответственно и микронапряжения будут только понижаться. В табл. 2 приведены вычисленные значения межплоскостных расстояний (d, Å), значения ширины рефлекса на его полувысоте (FWHM) (град), а также рассчитанный по формуле (1) [20] параметр кристаллической решетки для многослойного покрытия CrN/ZrN, полученного при скорости вращения подложкодержателя 8 об/мин. Осуществление расчетов ЛКТР производилось по формуле (2) для каждой точки температурного воздействия, представленной в табл. 1. На рентгенограмме присутствуют рефлексы (111) Рис. 5. Зависимость FWHM рефлексов (111) CrN и (111) ZrN многослойного покрытия от температуры воздействия Fig. 5. Dependence of FWHM refl ection of (111) CrN and (111) ZrN multilayer coating on temperature
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1