OBRABOTKAMETALLOV Vol. 25 No. 4 2023 205 MATERIAL SCIENCE Рис. 1. Динамика изменения параметра кристаллической решетки компонент однокомпонентных покрытий (а, в), многослойных покрытий (б, г) и подложки (д, е) в зависимости от времени (номера рентгенограммы). Прямой и значением наклона этой прямой указывается общее изменение параметра кристаллической решетки в процессе термического циклирования Fig. 1. Dynamic pattern of the lattice parameter of the components of single-component coatings (а, в), multilayer coatings (б, г) and substrate (д, е) as a function of time (X-ray diff raction numbers). The straight line and the value of the slope of this straight line indicate the general change of the lattice parameter during thermal cycling а б в г д е решетки отличается уже на порядок, т. е. предполагается, что для CrN mono (рис. 1, в) имеет место выгорание азота при термоциклировании в большей степени, чем в многослойном покрытии (рис. 1, г) при первоначальной разнице в величине параметра решетки 0,125 Å. Параметр решетки, рассчитанный по отражению плоскостью (101), и его изменение для поликристаллической подложки отличаются не существенно, но будут учтены позже.
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1