ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 25 № 4 2023 210 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Рис. 5. Эволюция FWHM выбранных плоскостей отражения нитридных однокомпонентных покрытий (а, в), многослойных покрытий (б, г) и подложки (д, е) Fig. 5. FWHM evolution of selected refl ection planes of nitride single component coatings (а, в), multilayer coatings (б, г) and substrate (д, е) а б в г д е Некоторые исследования объясняют этот эффект увеличением остаточных напряжений, сопровождающимся индуцированным фазовым превращением [20]. При наших условиях испытаний на термоциклирование многослойного покрытия фаза ZrN может испытывать сжатие со стороны второй компоненты многослойного покрытия – CrN, тем самым индуцируя напряженное состояние. К тому же испарение азота, приводящее к изменению химического состава покрытия, также влияет на изменение параметра решетки и тоже может создавать внутренние напряжения [21]. Общее остаточное напряжение в компонентах включает в себя внутреннее напряжение, термическое напряжение и внешнее напряжение. Во время термической обработки изменение каждой компоненты остаточного напряже-
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1