OBRABOTKAMETALLOV Vol. 26 No. 4 2024 223 MATERIAL SCIENCE щении поверхности металлических материалов кислородом и образовании окисной пленки при ультрафиолетовой лазерной обработке. На рис. 4 и 5 приведены РЭМ-изображения образцов TiNi и стали с результатами ЭДСанализа в исходном состоянии и после лазерной обработки. По данным растровой электронной микроскопии структура никелида титана состоит из матрицы TiNi (светлые области) и небольшого количества включений – частиц TiC (темные области) (рис. 4, а). Элементный состав матрицы представлен в основном Ti и Ni в соотношении, близком к эквиатомному, и незначительным количеством Mo и Fe, легирующих сплав ТН10; в составе матрицы также присутствует углерод и небольшое количество кислорода. Частицы включений содержат Ti, С и Ni (рис. 4, б). После 300 с лазерной обработки наблюдается повышение количества кислорода в ≈10 раз (рис. 4, в), а дальнейшее увеличение продолжительности обработки до 600 с приводит к еще более значительному росту количества кислорода на поверхности материала (рис 4, г). Для стальных образцов при продолжительности УФ-лазерной обработки 60…300 с наблюдаются незначительные изменения в концентрации кислорода на поверхности, а после обработки в течение 600 с содержание кислорода увеличивается до ≈13 ат. %. (рис. 5). То есть УФ-лазерная обработка приводит к повышению количества кислорода на поверхности. Сравнивая количество кислорода на поверхности экспериментальных образцов TiNi и стали после УФ-лазерного воздействия, можно отметить, что при одинаковых условиях обработки концентрация кислорода на поверхности образцов TiNi существенно выше по сравнению со стальными образцами. Это может быть связано с тем, что сплав TiNi содержит значитель- а б в г Рис. 4. РЭМ-изображения образцов TiNi с результатами ЭДС-анализа до (а, б) и после УФ-лазерной обработки с продолжительностью воздействия 300 с (в), 600 с (г) Fig. 4. SEM images of TiNi specimens with the results of EDS analysis before (a, б) and after UV laser treatment with an exposure time of 300 s (в), 600 s (г)
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1