Актуальные проблемы в машиностроении. Том 12. № 3-4. 2025 Технологическое оборудование, оснастка и инструменты ____________________________________________________________________ 47 Теория Основным назначением двухкристального монохроматора (ДКМ) является – дополнительная монохроматизация пучка СИ для выделения заданного диапазона энергий. На входе падающий «розовый» пучок излучения, а на выходе монохроматический пучок с энергией от 10 до 30 кэВ (угол Брэгга с 11,132° до 3,668°). В таблице 1 представлены технические характеристики двухкристального монохроматора. Таблица 1 Технические характеристики ДКМ № Характеристика Единица измерения Значения 1 Обеспечение монохроматизации излучения в рабочем диапазоне с энергетическим разрешением ΔE/E – Не более 2×10-4 2 Схема монохроматизации – Двухкристальная 3 Давление в вакуумном объеме мбар ≤ 10-8 4 Энергия выходного монохроматического пучка кэВ 10…30 5 Воспроизводимость при вращении кристалла в одну сторону Не более 0,00011 6 Вибрационная стабильность для угла Брэгга в полосе частот (0,1 …3000) Гц. мкрад не хуже 0,5 7 Контроль температуры Чувствительность ℃ 0,5 Частота регистарации изменений Гц ≥ 4 8 Монокристаллы имеют следующие характеристики Способ выращивания – по Чохральскому Чистота материала – 2-3 ppb Ориентация рабочей плоскости – 111 9 Система позиционирования Вакуумный объем, в оснащен механической (ручной) системой позиционирования относительно оси пучка СИ вертикального/горизонтального в диапазоне ±25 мм с точностью не хуже 100 мкм и угловых в трех плоскостях в диапазоне ±1° с точностью не хуже 0,1°. Тип системы - Механическая (ручная) Диапазон, не менее мм ± 25 Точность, не хуже мкм 100 В вертикальном направлении относительно оси пучка СИ (ось OY) Тип системы - Автоматическая Диапазон, не менее мм ± 5
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1