Актуальные проблемы в машиностроении. Том 12. № 3-4. 2025 Технологическое оборудование, оснастка и инструменты ____________________________________________________________________ 49 Для стабильного отражения пучка СИ от кристаллов по всей рабочей поверхности были выращены и сертифицированы кристаллы Si c ориентацией рабочей плоскости 111. Проведен анализ шероховатости поверхности (рис. 2). а б Рис. 2. Шероховатость рабочей поверхности кристаллов a – первый кристалл, б – второй кристалл Результаты и обсуждение На рисунке 3 представлена модель ДКМ с его основными элементами. В нижней части которого расположено гранитное основание для обеспечения вибрационной стабильности устройства. Клиновой домкрат с рамой, предназначенные для выставления ДКМ в горизонтальную плоскость (согласно п.9 таблицы 1). Для обеспечения рабочего вакуума 10-8 мбар корпус двухкристального монохроматора выполнен cо сверхвысоковакуумными фланцами системы Conflat, использующих медные уплотнения [14, 15]. Рис.3. Модель двухкристального монохроматора
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1