ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 27 № 4 2025 186 ОБОРУДОВАНИЕ. ИНСТРУМЕНТЫ Т а б л и ц а 5 Ta b l e 5 Параметры MRR и их уровни MRR parameters and their levels Параметр Уровень 1 Уровень 2 Уровень 3 Концентрация (г/л) 2,368 4,712 4,716 Время (мин.) 4,310 4,673 5,093 Температура (°C) 3,293 5,102 5,681 Т а б л и ц а 6 Ta b l e 6 Таблица ANOVA для MRR ANOVA table for MRR Фактор D.F. S.S. M.S. F P Концентрация (г/л) 2 9,3246 4,6623 53,53 0,018 Время (мин.) 2 0,9144 0,4572 5,25 0,160 Температура (°C) 2 0,0098 0,0049 0,06 0,947 Погрешность 2 0,1742 0,0871 – – Итого 8 10,423 – – – Уровни параметров и результаты дисперсионного анализа ANOVA для коэффициента травления (Etch Factor) показаны в табл. 7 и 8. Было обнаружено, что концентрация травителя является важным параметром процесса для коэффициента травления. Коэффициент травления – это отношение глубины протравливания к подтравливанию. Поскольку глубина протравТ а б л и ц а 7 Ta b l e 7 Параметры фактора травления и их уровни Etch factor parameters and their levels Параметр Уровень 1 Уровень 2 Уровень 3 Концентрация (г/л) 1,0737 1,9042 2,0786 Время (мин.) 1,9471 1,6117 1,4977 Температура (°C) 2,0138 1,5853 1,4574 Т а б л и ц а 8 Ta b l e 8 Таблица ANOVA для фактора травления ANOVA table for etch factor Фактор D.F. S.S. M.S. F P Концентрация (г/л) 2 1,7300 0,8650 2,79 0,264 Время (мин.) 2 0,5094 0,2547 0,82 0,549 Температура (°C) 2 0,3273 0,1636 0,53 0,655 Погрешность 2 0,6208 0,4908 – – Итого 8 3,1875 – – –
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1