ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ Том 27 № 4 2025 262 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ а б в г Рис. 3. РЭМ-изображения поверхности сплава TiNi после УФ-лазерной обработки с различными параметрами и результаты ЭДС-анализа: λ = 355 нм, V = 500 мкм/с (а); λ = 266 нм, V = 500 мкм/с (б); λ = 355 нм, V = 200 мкм/с (в); λ = 266 нм, V = 200 мкм/с (г) Fig. 3. SEM images of the TiNi alloy surface after UV laser treatment with diff erent parameters and corresponding EDS analysis results: (а) λ = 355 nm, V = 500 μm/s; (б) λ = 266 nm, V = 500 μm/s; (в) λ = 355 nm, V = 200 μm/s; (г) λ = 266 nm, V = 200 μm/s. (λ is a wavelength, V is a scanning speed) воздействии в зависимости от длины волны лазерного воздействия происходит значительное увеличение концентрации кислорода. Если в исходном состоянии на поверхности TiNi зафиксировано небольшое количество кислорода, не превышающее 1 ат. %, то на поверхности образцов TiNi, подвергнутых УФ-лазерному воздействию с длиной волны 355 нм, количество кислорода составляет 5,7 ± 0,4 ат. % при скорости сканирования V = 500 мкм/с и 9,7 ± 1,3 ат. % при скорости сканирования V = 200 мкм/с. Для образцов TiNi, подвергнутых УФ-лазерному воздействию с длиной волны 266 нм, наблюдается еще более значительное увеличение количества кислорода по сравнению с исходным состоянием: 7,5 ± 0,7 ат. % при скорости сканирования 500 мкм/с и 18,7 ± 2,1 ат. % при скорости сканирования 200 мкм/с. Повышение концентрации кислорода на поверхности сплава TiNi после лазерного воздействия может быть вызвано интенсивным взаимодействием Ti с кислородом атмосферы с образованием оксидов титана. Происходящее в процессе лазерной обработки локальное термическое воздействие на поверхность может приводить к образованию таких оксидных фаз, как TiO, TiO2, Ti2O3 и Ti2Ni4Ox, которые повышают не только твердость и коррозионную стойкость, но и гидрофильность поверхности и ее биоактивность [17, 23, 24]. На рис. 4 представлены дифрактограммы образцов TiNi после УФ-лазерной обработки со скоростью сканирования 200 мкм/с. На рентге-
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1