OBRABOTKAMETALLOV Vol. 28 No. 3 2026 115 TECHNOLOGY лометр TIME TR200, усилие 0,75 мН, базовая длина 0,8 мм). Для обеспечения сопоставимости результатов все измерения выполнялись при постоянных условиях окружающей среды. Перед проведением измерений проводили очистку измеряемых поверхностей от остатков смазочно-охлаждающей жидкости и продуктов механической обработки. Такой подход позволил минимизировать влияние температурного расширения материала, загрязнение поверхности и изменение оптических свойств исследуемых образцов на результаты измерений. В качестве примера на рис. 1 представлен результат воздействия лазерной обработки на поверхность детали, демонстрирующий особенность полученных микродефектов и микронеровностей. Рис. 1. Снимок участка профиля плоской чугунной поверхности после лазерной обработки на сканирующем электронном микроскопе MIRA3 Tescan Fig. 1. SEM image of a fl at cast iron surface section after laser processing, obtained using a MIRA3 Tescan scanning electron microscope На основании данных, представленных на рис. 1, можно сделать вывод, что оптическая профилометрия обеспечивает получение изображений с высокой степенью детализации и высоким пространственным разрешением. Результаты оптической профилометрии значительно превосходят данные, полученные традиционными контактными методами контроля шероховатости обработанной поверхности. При анализе криволинейных поверхностей для компенсации кривизны и угла наклона применяли метод наименьших квадратов, а остаточный профиль обрабатывали гауссовой фильтрацией аналогично контактным данным. Особое внимание уделялось сопоставимости данных, полученных контактным и оптическим методами измерений. Для этого все образцы маркировались и проводилось измерение в одних и тех же местах. Измерение каждого образца выполнялось с трехкратным повтором, результаты усреднялись. За эталонное значение для криволинейных поверхностей принимали результаты измерений на сканирующем электронном микроскопе MIRA3 Tescan (погрешность не более 2 %). Сканирующая электронная микроскопия выбрана в качестве независимого референтного метода, поскольку она не входит в сравниваемую пару методов (контактная и оптическая профилометрия). Влияние кривизны на погрешность измерения оценивали при помощи относительной погрешности δ: èçì ýòàë ýòàë 100 % a a a R R R − δ = , (1) где èçì a R – измеренное значение шероховатости, мкм; ýòàë a R – эталонное значение шероховатости, мкм. Статистическая обработка результатов включала в себя расчет средних значений, стандартных отклонений, доверительных интервалов с вероятностью 95 %, а также t-критерия Стьюдента для оценки значимости различий между средними величинами, полученными на разных участках и образцах. Линейную связь между значениями параметра шероховатости Ra, измеренными контактным и оптическим методами, оценивали при помощи коэффициента корреляции Пирсона. Для анализа зависимости погрешности от радиуса кривизны применяли нелинейное регрессионное моделирование, значимость регрессионных коэффициентов оценивали по F-критерию Фишера. С целью повышения достоверности полученных результатов каждый определяемый параметр шероховатости исследуемой поверхности основывался на серии независимых измерений. В процессе обработки данных, полученных в результате экспериментальных исследований,
RkJQdWJsaXNoZXIy MTk0ODM1