Actual Problems in Machine Building 2014 No. 1

I Международная научно-практическая конференция « Актуальные проблемы в машиностроении » Технологическое оборудование, оснастка и инструменты __________________________________________________________________ 371 Возможными вариантами регистрации интенсивности в этом случае могут быть регистрация суммарной интенсивности оптического поля по поверхности ФПУ 8, регистрация интенсивности оптического поля в кольце одного порядка, в кольцах первого и второго порядка и т.д. Устройство обеспечивает реализацию всех известных вариантов, которые определены целями и задачами конкретного экспериментального исследования. Способ и устройство для измерения малых линейных и угловых перемещений В современных измерителях для контроля угловых поворотов применяют дополнительный интерферометр. Перспективным для развития лазерной интерферометрии является разработка унифицированных методов и средств, позволяющих функционально объединить в одном устройстве измеритель линейных и угловых перемещений. В этом случае сложность заключается в неоднозначности определения перемещений, т. к. интенсивность оптического поля в любой точке ИК, является функцией двух переменных ) ,(  hf I  , где h и  - параметры, определяющие соответственно линейное и угловое положение поверхности ОК. В большинстве известных интерференционных схем для формирования когерентных источников лазерного излучения применяют деление исходного оптического пучка по амплитуде или по фронту с помощью известных оптических элементов, при этом ИК формируется в главном максимуме и в зависимости от кривизны волновых фронтов интерферирующих пучков представляет собой либо полосы равной толщины, либо полосы равного наклона. Линейное или угловое перемещение приводит к изменению оптической длины измерительного плеча интерферометра, в результате изменяется интенсивность интерференционных полос это изменение регистрирует ФПУ. Проблема заключается в том, что при наличии линейной и угловой составляющих перемещения (что характерно для перемещения реальных физических тел) возникает неоднозначность при определении действительного перемещения поверхности ОК. Для устранения этой неоднозначности предлагается применение дифракционных оптических элементов при формировании когерентных оптических пучков. Например, применение в качестве светоделителя синусоидальной дифракционной решетки обеспечит формирование ИК не только в главном максимуме, но и в максимумах +1 и -1 порядка. Установлено, что при наличии угловой составляющей в измеряемом перемещении, характер изменения интенсивности в соответствующих фрагментах указанных максимумов будет различен. Размещением ФПУ в соответствующих фрагментах указанных максимумов достигают получения не одной функциональной зависимости