ДОКЛАДЫ АКАДЕМИИ НАУК
ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Print ISSN: 1727-2769    Online ISSN: 2658-3747
English | Русский

Последний выпуск
№3(40) июль-сентябрь 2018

РОЛЬ НЕСТАЦИОНАРНЫХ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ НАНОСЕКУНДНОГО LCVD

Выпуск № 1 (20) январь-июнь 2013
Авторы:

Чесноков Дмитрий Владимирович,
Чесноков Владимир Владимирович,
Москвин Виктор Николаевич,
Михайлова Дарья Сергеевна
Аннотация
Исследованы тепловые процессы при формировании топологических рисунков методом LCVD с лазерными импульсами наносекундной и субнаносекундной длительностью. Показано, что скорость изменения температуры в облучаемом пятне на поверхности оказывает существенное влияние на разрешающую способность метода. Приведена оценка влияния нелинейной зависимости оптического поглощения от толщины пленки на начальную скорость ее роста на прозрачных подложках.
Ключевые слова: LCVD, лазерный пиролиз, адсорбция, тонкие пленки, топологический рисунок, нели-нейные явления

Список литературы
  1. Прохоров А.М. Взаимодействие лазерного излучения с металлами / А.М. Прохоров, В.И. Конов, И. Урсу, И.Н. Михэилеску. – М.: Наука, 1988. – 543 с.
  2. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов / В.П. Вейко. – Л.: Машиностроение. – 1986. – 247 с.
  3. Дьюли У. Лазерная технология и анализ материалов / У. Дьюли. – М.: Мир. – 1986. – 504 с.
  4. Чесноков В.В. Лазерные наносекундные микротехнологии / В.В. Чесноков, Е.Ф. Резникова, Д.В. Чесноков. – Новосибирск: СГГА, 2003. – 300 с.
  5. Камья Ф.М. Импульсная теория теплопроводности / пер. с франц.; под ред. Лыкова А.В. – М.: Энергия, 1972. – 272 с.
  6. Физические величины: Справ./ под ред. И.С. Григрьева, Е.З. Мейлихова.М.: Энергоатомиздат, 1991. – 1232 с.
  7. Розенберг Г.В. Оптика тонкослойных покрытий / Г.В. Розенберг. – М.: Гос. изд-во физ.-мат. лит., 1958. – 563 с.
  8. Звелто О. Принципы лазеров / О. Звелто. – СПб.: Лань. – 2008. – 720 с..
  9. Дэниэльс Ф. Физическая химия / Ф. Дэниэльс, Р. Альберти. – М.: Высш. шк., 1967. – 780 с.
  10. Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике / Г.А. Разуваев, Б.Г. Грибов, Г.А. Домрачев, Б.А. Саламатин.– М.: Наука, 1972. – 479 с.
Просмотров: 416