Развита численно-аналитическая модель тепломассопереноса при сублимации монокристаллической пластины из b-дикетоната металла в потоке инертного газа-носителя в плоском щелевом канале. Проведены численные расчеты различных режимов процесса для b-дикетонатов меди, хрома и иридия, результаты которых удовлетворительно согласуются с данными физического эксперимента.
[1] Chevalier S., Kilo M., Borchardt G., Larpin J.P. MOCVD deposition of YSZ on stainless steels // Appl. Surf. Sci. – 2003. – Vol. 205. – No. 1–4. – P. 188–195.
[2] Thompson A.G. MOCVD technology for semiconductors // Mater. Lett. – 1997. – Vol. 30. – No. 4. – P. 255–263.
[3] Meng G., Zhou G., Schneider R.L., Sarma B.K., Levy M. Model for the vaporization of mixed organometallic compounds in the metalorganic chemical vapor deposition of high temperature superconducting films // Appl. Phys. Lett. – 1993. – Vol. 63. – No. 14. – P. 1981–1983.
[4] Kan-Sen Chou, Min-Jern Hwang, Ming-Yu-Shu Experiment and modeling on the evaporation of β-diketonates of copper, yttrium and barium // Thermochim. Acta. – 1994. – Vol. 233. – No. 1. – P. 141–152.
[5] Kan-Sen Chou, Wen-Min Wang. Modeling of evaporation rates of cerium β-diketonate // Thermochim. Acta. – 1996. – Vol. 286. – No. 1. – P. 75–82.
[6] Черепанов А.Н., Шапеев В.П., Семин Л.Г., Черепанова В.К., Игуменов И.К., Михеев А.Н., Гельфонд Н.В., Морозова Н.Б. Квазиодномерная модель тепломассопереноса при сублимации пластины молекулярного кристалла в плоском канале // ПМТФ. – 2003. – Т. 44. – № 4. – С. 109–115.
[7] Черепанов А.Н., Попов В.Н., Черепанова В.К., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К., Морозова Н.Б., Михеев А.Н. Двумерная модель тепломассопереноса при сублимации бинарной системы молекулярных кристаллов в неоднородном потоке газа // Электронный журнал «Исследовано в России». – 2005. – Т. 8. – С. 302–308. URL: http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2005/027.pdf
[8] Крылов В.И., Бобков В.В., Монастырный П.И. Вычислительные методы. – М.: Наука, 1976. – 237 с.
[9] Fedotova N.E., Gelfond N.V., Igumenov I.K., Mikheev A.N., Morozova N.B., Tuffias R.H. Experiment and modeling of mass-transfer processes of volatile metal beta-diketonates. I. Study of mass-transfer process of tris-(acetylacetonato) Chromium (III) at atmospheric pressure // Intern. J. Therm. Sci. – 2001. Vol. 40. – No. 5. – P. 469–477.
[10] Gelfond N.V., Mikheev A.N., Morozova N.B., Gelfond N.E., Igumenov I.K. Experiment and modeling of mass-transfer processes of volatile metal beta-diketonates. II. Study of mass-transfer process of tris-(acetilacetonato) iridium (III) // Int. J. Therm. Sci. – 2003. – Vol. 42. – No. 8. – P. 725–730.