ДОКЛАДЫ АКАДЕМИИ НАУК
ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Print ISSN: 1727-2769    Online ISSN: 2658-3747
English | Русский

Последний выпуск
№3(40) июль-сентябрь 2018

5.АНАЛИЗ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ 2D-МОДУЛЯЦИИ ЁМКОСТИ В МЭМП С ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЙ СХЕМОЙ ВКЛЮЧЕНИЯ КОМПОНЕНТОВ

Выпуск № 2 (15) июль-декабрь 2010
Авторы:

Драгунов Валерий Павлович,
Остертак Дмитрий Иванович
Аннотация

Представлены результаты исследований одноконденсаторного микроэлектромеханического преобразователя механической энергии в электрическую с последовательной схемой включения компонентов. Проводится сравнение эффективности преобразования при 2D-модуляции ёмкости и при модуляции ёмкости только изменением перекрытия электродов или межэлектродного зазора.


Ключевые слова: извлечение энергии из окружающей среды, переменный конденсатор, микроэлектромеханический преобразователь, 2D-модуляция ёмкости, преобразование механической энергии в электрическую.

Список литературы

[1]       Roundy S., Wright P.K., Rabaey J. A study of low level vibrations as a power source for wireless sensors nodes // Computer Communications. – 2003. – Vol. 26. – P. 1131–1144.



[2]       Beeby S.P., Tudor M.J., White N.M. Energy harvesting vibration sources for microsystems applications // Meas. Sci. Technol. – 2006. – Vol. 17. – P. 175–195.



[3]       Lefeuvre E., Badel A., Richard C., Petit L., Guyomar D. A comparison between several vibration-powered piezoelectric generators for standalone systems // Sensors and Actuators A. – 2006. – Vol. 126. – P. 405–416.



[4]       Arnold D.P. Review of microscale magnetic power generation // IEEE Trans. Magn. – 2007. – Vol. 43. – P. 3940–3951.



[5]       Mitcheson P.D., Sterken T., He C., Kiziroglou M., Yeatman E.M., Puerso R. Electrostatic microgenerators // Meas. Control. – 2008. – Vol. 41. – P. 114–119.



[6]       Meninger S., Mur-Miranda J.O. Amirtharajah R. et al. Vibration-to-electric energy conversion // IEEE Trans. VLSI Syst. – 2001. – Vol. 9. – P. 64–76.



[7]       Драгунов В.П., Остертак Д.И. Анализ электромеханических процессов в МЭМП с изменяющейся площадью перекрытия электродов // Научный вестник НГТУ. – 2009. – Т. 35. – № 2. – С. 115–127.



[8]       Драгунов В.П., Остертак Д.И. Предельные характеристики микроэлектромеханических преобразователей энергии // Научный вестник НГТУ. – 2009. – T. 34. – № 1. – С. 129–141.



[9]       Chiu Y., Tseng V.F.G. A capacitive vibration-to-electricity energy converter with integrated mechanical switches // J. Micromech. Microeng. – 2008. – Vol. 18. – P. 1–8.



[10]    Mitcheson P.D., Green T.C., Yeatman E.M., Holmes A.S. Architectures for Vibration-Driven Micropower Generators // Journal of Microelectromechanical systems. – 2004. – Vol. 13. – No. 3. – P. 429–440.



[11]    Драгунов В.П., Остертак Д.И. Емкостной МЭМП с последовательной схемой включения компонентов // Доклады АН ВШ РФ. – 2009. – Т. 13. – № 2. – С. 106–116.



[12]    Драгунов В.П., Остертак Д.И. Электростатический микроэлектромеханический преобразователь с последовательной схемой включения компонентов // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 6. – С. 37–43.



[13]    Багинский И.Л., Косцов Э.Г. Анализ возможности создания микроэлектронного электростатического генератора энергии // Автометрия. – 2002. – № 1. – С. 107–122.



[14]    Драгунов В. П., Косцов Э.Г., МЭМ электростатический генератор энергии // Нано- и Микросистемная техника. – 2007. – № 11. – C. 47–53.



[15]    Драгунов В.П., Остертак Д.И. Двухконденсаторный микроэлектромеханический преобразователь мостового типа // Доклады АН ВШ РФ. – 2010. – Т. 14. – № 1. – С. 93–102.



[16]    Hohlfeld D., Matova S., van Schaijk R. System-level Modeling and Simulation of a Frequency-tunable Electrostatic Energy Harvester // 10th. Int. Conf. on Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems, EuroSimE. – 2009. – P. 1–7.



[17]    Драгунов В.П. Нелинейность упругих элементов микромеханических систем // Микросистемная техника. – 2004. – № 5 – С. 7–13.



[18]    Драгунов В.П. Нелинейная динамическая модель упругого элемента микромеханических систем // Микросистемная техника. – 2004. – № 10 – С. 23–29.



[19]    Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Жвавый С.П. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – № 12. – C. 12–22.



[20]    Bartsch U., Gaspar J., Paul O. A 2D electret-based resonant micro energy harvester // Proc. IEEE MEMS, Sorrento, Italy, Jan. 25–29, 2009, P. 1043–1046.



[21]    Zhu Y., Moheimani S.O.R., Yuce M.R. Ultrasonic Energy Transmission and Conversion Using a 2-D MEMS Resonator // IEEE electron device letters. – 2010. – Vol. 31. – No. 4. – P. 374–376.



[22]    Драгунов В.П., Колчужин В.А., Остертак Д.И. Влияние краевых эффектов на электрическую ёмкость в МЭМС // Доклады АН ВШ РФ. – 2009. – Т. 13. – № 2. – С. 97–105.



[23]    Драгунов В.П., Остертак Д.И. Электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Часть I. Расчёт ёмкостей // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 7. – С. 37–41.

Просмотров: 53