ДОКЛАДЫ АКАДЕМИИ НАУК
ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Аннотация
Погрешность позиционирования в угловом направлении является специфической по- грешностью, характерной только для генераторов изображений, имеющих в своем составе узел вращения, и обусловлена ограниченной точностью датчика углового положения. Как правило, его конструкция состоит из фотоэлектрического преобразователя угла и умножителя частоты следования импульсов на основе схемы с фазовой автоподстройкой частоты. Эта погрешность имеет особое значение при формировании топологии углоизмерительных структур, таких как угловые растры, лимбы, шкалы или многоразрядные кодовые диски, а также при формировании топологии дифракционных оптических элементов произвольной формы, особенно на больших радиусах. В статье рассмотрен метод улучшения точностных параметров лазерного генератора изображений, реализующего принцип кругового скани- рования. Результат достигается за счет использования в его конструкции фотоэлектрического преобразователя комбинированного типа, который одновременно с измерением угла поворота определяет отклонение оси ротора угловой координаты в радиальном направлении. Для этого на едином стеклянном основании за один технологический процесс формируются две измерительные структуры – радиальный растр для измерения угла поворота и кольцо для измерения линейного смещения растра в тангенциальном направлении. Использование в лазерном генераторе изображений фотоэлектрического преобразователя комбинированного типа позволяет в пять раз повысить точность угловых измерений по сравнению с ранее используемыми датчиками углового положения при сохранении габаритных показателей.