Резникова Елена Фёдоровна,
Кондратьев Владимир Иванович,
Гольденберг Борис Григорьевич
Аннотация
Изучена смачиваемость и краевой угол смачивания поверхностей полимеров, используемых для структурирования микрофлюидных биохимических модулей методом ЛИГА технологии – рентгенолитография, гальванопластика и формовка полимерных изделий. Методика определения величин включает измерение геометрии калиброванных капель жидкости на поверхности с помощью оптического микроскопа. Химический атомарный состав поверхностных слоёв полимеров характеризован методом рентгеновской флуоресценции, инициируемой электронным лучом сканирующего микроскопа. В работе обсуждаются особенности смачивания микроканалов в оргстекле, оптическом силиконе, фторопласте, полимерном SU-8 и каптоне с целью конструирования микромодуля для системного анализа взаимодействия реагентов в биохимических водных растворах.
Ключевые слова: смачиваемость, полимеры, ЛИГА технология, микрофлюидный биохимический модуль, электронно-зондовый рентгеновский флуоресцентный анализ
Авторы:
Резникова Елена Фёдоровна
кандидат химических наук, с.н.с. ИЯФ СО РАН, Основное направление научных исследований: физическая химия; лазерно-индуцированное химическое осаждение металлических микроструктур из паров металлоорганических соединений; радиационная химия фталоцианинов, фото и рентгено-литография; ЛИГА технология; рентгеновская оптика: линзы, решётки, микроскоп, интерферометр Талбота; интраокулярные линзы; микрофлюидные модули. Является автором или соавтором более 30 научных статей в зарубежных и отечественных журналах, в том числе одной монографии. Е-mail: E.F.Reznikova@inp.nsk.su
Кондратьев Владимир Иванович
научный сотрудник ИЯФ СО РАН, Основное направление научных исследований: техника и технология физического эксперимента, электронная микроскопия и электронно-зондовый микроанализ. Имеет более 30 публикаций. E-mail: V.I.Kondratyev@inp.nsk.su
Гольденберг Борис Григорьевич
кандидат технических наук, c.н.с. ИЯФ СО РАН, Основное направление научных исследований: ЛИГА технология, рентгенолитография, интраокулярные линзы; микрофлюидные мо-дули; терагерцовые фильтры. Имеет более 20 публикаций. E-mail: goldenberg@inp.nsk.su
Список литературы
[1] Евстрапов А.А. Наноразмерные структуры в микрофлюидных устройствах (Обзор) / А.А. Евстрапов // Научное приборостроение. – 2011. – Т. 21. – № 3. – С. 3–16.
[2] Микрофлюидные системы для химического анализа / под ред. Ю.А. Золотова, В.Е. Курочкина. – М.: ФИЗ-МАТЛИТ, 2011. – 528 с.
[3] Пельтек С.Е. Микрофлюидные системы в биологии и конструирование геносенсоров / С.Е. Пельтек, Е.Н. Горячковская, Н.Б. Рубцов и др. // Нанотехнология. Экология. Производство. – 2010. – № 2. – С. 84–87.
[4] Becker E.W. Production of separation – nozzle systems for uranium enrichment by a combination of X-ray lithography and galvanoplastics / E.W. Becker, W. Ehrfeld, D. Munchmeyer et al. // Naturwissenschaften. – 1982. – Vol. 69. – P. 520–523.
[5] Гольденберг Б.Г. Создание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП–3: дис. … канд. техн. наук / Б.Г. Гольденберг. – Новосибирск, 2011. – 146 с.
[6] Smith G.H. Complex salt photoinitiator / G.H. Smith, P.M. Olofson // Patent US4231951. Issued 04.11.1980.
[7] Crivello J.V. Photoinitiated Cationic Polymerization with Triarylsulfonium Salts / J.V. Crivello, J.H.W. Lam // J. of Polymer Sci.: Polymer Chem. – 1979. – Vol. 17. – P. 977–999.
[8] Reznikova E. Deep photo-lithography characterization of SU-8 resist layers / E. Reznikova, J. Mohr, H. Hein // Microsystem Technologies. – 2005. – Vol. 11 (4-5). – Р. 282–291.
[9] Reznikova E. Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU8 submicron structures / E. Reznikova, J. Mohr, M. Boerner et al. // Microsystem Technologies. – 2008. – Vol. 14. – Р. 1683–1688.
[10] Мазаев В.В. Двухфазная фильтрация жидкостей в пористых гидрофильных средах, модифицированных кремнийорганическими гидрофобизаторами: автореф. дис. … канд. техн. наук / В.В. Мазаев. – Тюмень: Тюменский государственный нефтегазовый университет, 2004. – 23 с.
[11] Гусев С.В. Использование кремнийорганических гидрофобизаторов фирмы «Ваккер-Хеми» (Германия) для увеличения нефтеотдачи на нефтяных месторождениях Западной Сибири / С.В. Гусев, В.В. Мазаев, Я.Г. Коваль // Нефть и газ. Известия высших учебных заведений. – Тюмень: ТГНГУ. – № 6. – 1997. – С. 73.
