Аннотация
В статье рассматривается алгоритм определения фазовых сдвигов по серии интерференционных картин, полученных методом пошагового фазового сдвига решением системы трансцендентных уравнений
Ключевые слова: интерферограмма, фазовый сдвиг, расшифровка интерферограмм, интерферометр, пошаговая интерферометрия
Список литературы
[1] Hariharan P. Digital phase-measurement system for real-time holographic interferometry / P. Hariharan, B.F. Oreb, N. Brown // Optics Communication. – Vol. 41. – № 6. – 1982. – Р. 393–398.
[2] Wyant J.C. Recent advances in interferometric optical testing / J.C. Wyant, K. Creath // Laser Focus. – 1985. – Р. 118–132.
[3] Wyant J.C. Interferometric optical metrology: basic system and principles / J.C. Wyant // Laser Focus. – 1982. – Р. 65–67.
[4] Creath K. Phase-shifting speckle interferometry / K. Creath // Applied Optics. – 1985. – Vol. 24. – P. 3053–3058.
[5] Greivenkamp J.E.«Phase shifting interferometry» in Optical Shop Testing / J.E. Greivenkamp, J.H. Bruning. – New York: Wiley, 1992. – Р. 501–598.
[6] Groot P. de. Phase-shift calibration errors in interferometers with spherical Fizeau cavities / P. de Groot // Applied Optics. – 1994. – Vol. 34. – № 16. – Р. 2856–2863.
[7] Groot P. de. 101-frame algorithm for phase shifting interferometry / P. de Groot // EUROPTO, 1997. (Preprint 3098–33).
[8] Millerd J. Modern Approaches in Phase Measuring Metrology / J. Millerd, N. Brock, J. Hayes, et al. // рroc. SPIE. 5856. – 2004.
[9] Gao P. Phase-Shift Extraction for Generalized Phase-Shifting Interferometry / P. Gao, B. Yao, N. Lindlein, et al. // Opt. Lett., 2009. – 34 (22). – Р. 3553–3555.
[10] Гужов В.И. Универсальный алгоритм расшифровки / В.И. Гужов, С.П. Ильиных, Д.С. Хайдуков, А.Р. Ва-гизов // Научный вестник НГТУ. – 2010. – № 4(41). – С. 51–58.
[11] Гужов В.И. Устранение ошибок фазового сдвига в интерферометрии / В.И. Гужов, С.П. Ильиных, Д.С. Хай-дуков, А.Р. Вагизов // Автометрия. – 2011. – Т. 47. – № 1. – С. 96–101.
[12] Guzhov V.I. Eliminating phase-shift errors in interferometry / V.I. Guzhov, S.P. Il’yinykh, D.S. Khaidukov, A.R. Vagizov // Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. –2011. – Vol. 47. – № 1. – Р. 76–80.
[13] Гужов В.И. Анализ точности определения полной разности фаз в целочисленных интерферометрах / В.И. Гужов, Ю.Н. Солодкин // Автометрия. – 1992. – № 6. – С. 24–30.
[14] Schmit J. Extended averaging technique for derivation of error-compensating algorithms in phase-shifting interferometry / J. Schmit, K. Creath // Applied Optics. – 1995. – Vol. 34. – № 19. – Р. 3610–3619.
[15] Корн Г. Справочник по математике / Г. Корн, Т. Корн. – М., 1973. – 832 с.
