Представлены результаты исследований одноконденсаторного микроэлектромеханического преобразователя механической энергии в электрическую с последовательной схемой включения компонентов. Проводится сравнение эффективности преобразования при 2D-модуляции ёмкости и при модуляции ёмкости только изменением перекрытия электродов или межэлектродного зазора.
[1] Roundy S., Wright P.K., Rabaey J. A study of low level vibrations as a power source for wireless sensors nodes // Computer Communications. – 2003. – Vol. 26. – P. 1131–1144.
[2] Beeby S.P., Tudor M.J., White N.M. Energy harvesting vibration sources for microsystems applications // Meas. Sci. Technol. – 2006. – Vol. 17. – P. 175–195.
[3] Lefeuvre E., Badel A., Richard C., Petit L., Guyomar D. A comparison between several vibration-powered piezoelectric generators for standalone systems // Sensors and Actuators A. – 2006. – Vol. 126. – P. 405–416.
[4] Arnold D.P. Review of microscale magnetic power generation // IEEE Trans. Magn. – 2007. – Vol. 43. – P. 3940–3951.
[5] Mitcheson P.D., Sterken T., He C., Kiziroglou M., Yeatman E.M., Puerso R. Electrostatic microgenerators // Meas. Control. – 2008. – Vol. 41. – P. 114–119.
[6] Meninger S., Mur-Miranda J.O. Amirtharajah R. et al. Vibration-to-electric energy conversion // IEEE Trans. VLSI Syst. – 2001. – Vol. 9. – P. 64–76.
[7] Драгунов В.П., Остертак Д.И. Анализ электромеханических процессов в МЭМП с изменяющейся площадью перекрытия электродов // Научный вестник НГТУ. – 2009. – Т. 35. – № 2. – С. 115–127.
[8] Драгунов В.П., Остертак Д.И. Предельные характеристики микроэлектромеханических преобразователей энергии // Научный вестник НГТУ. – 2009. – T. 34. – № 1. – С. 129–141.
[9] Chiu Y., Tseng V.F.G. A capacitive vibration-to-electricity energy converter with integrated mechanical switches // J. Micromech. Microeng. – 2008. – Vol. 18. – P. 1–8.
[10] Mitcheson P.D., Green T.C., Yeatman E.M., Holmes A.S. Architectures for Vibration-Driven Micropower Generators // Journal of Microelectromechanical systems. – 2004. – Vol. 13. – No. 3. – P. 429–440.
[11] Драгунов В.П., Остертак Д.И. Емкостной МЭМП с последовательной схемой включения компонентов // Доклады АН ВШ РФ. – 2009. – Т. 13. – № 2. – С. 106–116.
[12] Драгунов В.П., Остертак Д.И. Электростатический микроэлектромеханический преобразователь с последовательной схемой включения компонентов // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 6. – С. 37–43.
[13] Багинский И.Л., Косцов Э.Г. Анализ возможности создания микроэлектронного электростатического генератора энергии // Автометрия. – 2002. – № 1. – С. 107–122.
[14] Драгунов В. П., Косцов Э.Г., МЭМ электростатический генератор энергии // Нано- и Микросистемная техника. – 2007. – № 11. – C. 47–53.
[15] Драгунов В.П., Остертак Д.И. Двухконденсаторный микроэлектромеханический преобразователь мостового типа // Доклады АН ВШ РФ. – 2010. – Т. 14. – № 1. – С. 93–102.
[16] Hohlfeld D., Matova S., van Schaijk R. System-level Modeling and Simulation of a Frequency-tunable Electrostatic Energy Harvester // 10th. Int. Conf. on Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems, EuroSimE. – 2009. – P. 1–7.
[17] Драгунов В.П. Нелинейность упругих элементов микромеханических систем // Микросистемная техника. – 2004. – № 5 – С. 7–13.
[18] Драгунов В.П. Нелинейная динамическая модель упругого элемента микромеханических систем // Микросистемная техника. – 2004. – № 10 – С. 23–29.
[19] Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Жвавый С.П. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – № 12. – C. 12–22.
[20] Bartsch U., Gaspar J., Paul O. A 2D electret-based resonant micro energy harvester // Proc. IEEE MEMS, Sorrento, Italy, Jan. 25–29, 2009, P. 1043–1046.
[21] Zhu Y., Moheimani S.O.R., Yuce M.R. Ultrasonic Energy Transmission and Conversion Using a 2-D MEMS Resonator // IEEE electron device letters. – 2010. – Vol. 31. – No. 4. – P. 374–376.
[22] Драгунов В.П., Колчужин В.А., Остертак Д.И. Влияние краевых эффектов на электрическую ёмкость в МЭМС // Доклады АН ВШ РФ. – 2009. – Т. 13. – № 2. – С. 97–105.
[23] Драгунов В.П., Остертак Д.И. Электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Часть I. Расчёт ёмкостей // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 7. – С. 37–41.