ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ

ТЕХНОЛОГИЯ • ОБОРУДОВАНИЕ • ИНСТРУМЕНТЫ
Print ISSN: 1994-6309    Online ISSN: 2541-819X
English | Русский

Последний выпуск
Том 20, № 4 Октябрь - Декабрь 2018

Перспективы изменения геометрии ионного источника с анодным слоем

Выпуск № 4 (57) Октябрь - Декабрь 2012
Авторы:

Ибрагимов Егор Артурович,
Саушкина Наталья Федоровна
Аннотация
В данной работе дана попытка описать характер изменения напряженности электрического поля в зависимости от расстояния между анодом и катодом ионного источника

 
Ключевые слова: напряженность, магнитная индукция, плазма

Список литературы
1. Описание программного комплекса ELCUT: [Электрон. ресурс]. – http://tor.ru/elcut/feat_r.html.

2. Дубицкий С.Д. ELCUT – конечно-элементный анализ низкочастотного электромагнитного поля //  EDA Express. – 2005, №12. – С. 24 – 29.

3. Пользователи программного комплекса ELCUT: [Электрон. ресурс]. - http://tor.ru/elcut/cust_r.html.

4. Жуков В.В., Кривобоков В.П., Пацевич В.В., Янин С.Н. Свойства магнетронного разряда на постоянном токе. Ч. 1. Механизм распыления мишени // Известия Томского политехнического университета. – 2005. – Т. 308. - №6. – С. 69 – 74.

 
Просмотров: 496