В настоящее время приложение SDevice пакета программ TCAD Sentaurus представляет собой надежное средство электрофизического моделирования кремниевых КМОП транзисторов, работающих в области температур –60…+125 °С. Для адаптации процесса моделирования к конкретным физическим условиям работы приборов в этом приложении имеется обширная библиотека моделей электрофизических параметров (в част-ности, моделей подвижностей или ширины запрещенной зоны). Однако при работе прибора в экстремальных криогенных условиях возникает потребность доработки этих моделей с помощью специального интерфейса Physical Model Interface (PMI). В работе представлены методические особенности работы с PMI и результаты внедрения пользовательских моделей параметров для кремниевых приборов.
Исследование интерфейса внедрения физических моделей в среде TCAD SENTAURUS / М.А. Кузнецов, С.В. Калинин, А.С. Черкаев, Д.И. Остертак // Сборник научных трудов НГТУ. – 2020. – № 3 (98). – С. 39–48. – DOI: 10.17212/2307-6879-2020-3-39-48.
Kuznetsov M.A., Kalinin S.V., Cherkaev A.S., Ostertak D.I. Issledovanie interfeisa vnedreniya fizicheskikh modelei v srede TCAD SENTAURUS [Investigating physical model interface in the TCAD Sentaurus environment]. Sbornik nauchnykh trudov Novosibirskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta = Transaction of scientific papers of the Novosibirsk state technical university, 2020, no. 3 (98), pp. 39–48. DOI: 10.17212/2307-6879-2020-3-39-48. (In Russian)
Кузнецов Максим Андреевич